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产品描述
| 参数项目 |
技术指标 |
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设备型号 |
SCMP460 | SCMP570 | SCMP670 |
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设备尺寸 |
1356x4000x3300mm | 1356x2400x3360mm | 1426x2600x3900mm |
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适用衬底尺寸 |
6英寸 | 8英寸 | 12英寸 |
| 长晶方法 |
PVT |
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| 最高使用温度 |
2400℃ |
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| 真空系统 |
极限真空5x10-4Pa，压升率≤5Pa/12h |
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| 气路系统 |
气体类型：Ar、N₂、H₂等 |
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