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碳化硅单晶炉SCMP系列感应加热PVT


应用领域:主要用于生产4-8英寸碳化硅单晶衬底。

碳化硅单晶炉SCRP1200系列电阻加热PVT


应用领域:主要用于生产4-8英寸碳化硅单晶衬底。

碳化硅单晶炉LP系列


应用领域:主要用于生产碳化硅单晶衬底,产品覆盖6-12英寸碳化硅单晶生产设备。
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